半导体工业空气过滤器
粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。当今，半导体工业(芯片厂)对生产环境的空气洁净程度最挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。
粘在集成电路上的粉尘可能造成断路、短路，粉尘直接影响产品的成品率。当今，半导体工业(芯片厂)对生产环境的空气洁净程度最挑剔，对空气过滤器的要求也最苛刻。
芯片厂传统的通风形式是“大循坏”，车间的整个顶棚上布满高效过滤器，整个地面为回风栅板。现在芯片厂有些车间使用自带风机的过滤装置，即FFU。大循环和FFU两种形式都能达到足够的洁净度，只是在运行管理和能耗上有所差异。
当今的过滤技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零，你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5m时，人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害，于足，在线宽小F0.5pm的芯片厂空调系统中普遍配置了化学过滤器。化学过滤器的原理和制造工艺并不复杂，它就是活性过滤器，但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车，芯片厂的化学过滤器大都足空调过滤器的制造厂家提供的。
半导体工业并非人们普遍认为的“无烟工业”，它也有坏境问题。那里经常采用最新的工艺和材料，有些化学物品在其安全性尚未得到评估前就已经人量使用了，稍不小心就会造成严重的化学污染，既有地下水污染，也有空气污染，体谷就曾为此付出过惊人的代价。为了保险，有些企业在排风系统中也使用化学过滤器。
中国正处在新-轮芯片厂建设的狂热中，为此，今后几年国内需要数亿元的高效过滤器和化学过滤器，如果国内过滤器商家像以往那样只热衷于抄袭、猜疑、各顾各地瞎忙活，不在技术上进取、不相以交流，芯片厂这个难得的市场将属于外来者。
阅读全文
请先 登录后发表评论 ~